數(shù)控雙面研磨機的技術(shù)發(fā)展說明
數(shù)控雙面研磨機是用于同時對工件兩端面進(jìn)行高精度加工的重要裝備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密陶瓷、金屬零件、軸承、刀片等高端制造行業(yè)。其技術(shù)發(fā)展經(jīng)歷了從基礎(chǔ)的手動或機械控制,向智能化、高精密、高自動化方向不斷演進(jìn)。
數(shù)控雙面研磨機的關(guān)鍵技術(shù)發(fā)展方向
1、控系統(tǒng)與自動化控制
多軸聯(lián)動控制,實現(xiàn)上盤、下盤、內(nèi)環(huán)同步控制。
加入伺服驅(qū)動系統(tǒng),實現(xiàn)精準(zhǔn)調(diào)速與自動壓力控制。
支持參數(shù)化編程,配方可儲存與調(diào)用,適應(yīng)多種工件切換。
2、高精度結(jié)構(gòu)設(shè)計
主軸采用氣浮或磁浮結(jié)構(gòu),減少摩擦,提升回轉(zhuǎn)精度。
底盤、研磨盤采用高剛性鑄件或天然花崗巖結(jié)構(gòu),熱穩(wěn)定性強。
支持微米級、亞微米級研磨要求,部分設(shè)備具備 Ra<0.01μm 表面粗糙度能力。
3、數(shù)控雙面研磨機的自動化上下料系統(tǒng)
配套機器人、翻轉(zhuǎn)裝置、視覺定位系統(tǒng),實現(xiàn)無人化操作。
數(shù)控雙面研磨機適用于晶圓、陶瓷片、金屬墊圈、IC封裝件等薄小零件的高效率加工。
4、智能檢測與反饋
集成在線厚度測量、表面粗糙度傳感器、自動補償磨損量。
實現(xiàn)閉環(huán)控制,提高制程穩(wěn)定性,減少人工干預(yù)。
5、環(huán)保與冷卻系統(tǒng)優(yōu)化
封閉式循環(huán)冷卻系統(tǒng),減少磨液浪費。
數(shù)控雙面研磨機采用環(huán)保型磨削液,過濾與回收系統(tǒng)更加智能。
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